半導體製程設備及配件 > EA-01 載具清洗機 EA-01 載具清洗機 EA-01 載具清洗機 型號: EA-01 產品描述 設備特點 適用於各式載具清洗，全程使用DIW，高壓噴頭搭配軟體可以實現指向式清洗，調整噴頭角度、方向，針對需求加強清洗，能有效去除殘留光阻及殘膠。 另有各式載具如：Magazine、Boat/jig、Fram.tray、Cassette、Frame Cassette、Tray Cassette 設備特點 減少製程污染 空間節省30% 安全性再升級 有效清除 Particle/AMC 其他 半導體製程設備及配件 EA-09 EFEM—晶圓傳送設備 EA-10 客製機器手臂牙叉FORK EA-02 助焊劑清洗機 EA-03 公自轉蝕刻機
