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EA-09 EFEM—晶圓傳送設備
EA-09 EFEM—晶圓傳送設備
型號: EA-09
● “觸手”可及
可做到950MM
● 直升式
簡單、耐用
● 多款設計選擇
長度區間及手臂數量
● 常規產品彈性製造
2”~12”WAFER及PANEL皆可運作
